特許
J-GLOBAL ID：201103034818219623
高さ計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山田 恒光
, 大塚 誠一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-167220
公開番号（公開出願番号）：特開2000-356510
特許番号：特許第3706504号
出願日： 1999年06月14日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ワークの基板に二次元的に配置された複数の被計測物体を前記基板に対し略交差する方向から照射する第一の光源と、前記基板の平面に対し前記被計測物体の頂点を含むよう、前記基板の平面に対し略水平に近い傾斜角度で基板の平面方向へ照射し得るようにした第二の光源と、前記第一の光源により照射された被計測物体の反射被照明像を撮像すると共に第二の光源により照射された被計測物体の頂点から発する散乱光による輝点群を撮像するための1台の撮像装置と、該撮像装置からの反射被照明像の信号から被計測物体の基板の平面方向の位置を検出すると共に、前記散乱光による輝点群の信号から被計測物体の頂点の高さを計測する制御処理装置を設けたことを特徴とする高さ計測装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/02 H
, H01L 21/92 604 T
