特許
J-GLOBAL ID：201103035027717197

RAMバスハンドラ(Rambushandler)

発明者：
金 南亨

金 南亨 について

, 
沈 載均

沈 載均 について

, 
李 範希

李 範希 について


出願人/特許権者：
三星電子株式会社

三星電子株式会社 について


代理人 (1件)： 志賀 正武
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-370618
公開番号（公開出願番号）：特開2001-215257
特許番号：特許第3759579号
出願日： 2000年12月05日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 テストする半導体ディバイスが盛られたユーザートレーを多数積載して一個ずつ供給位置に位置決めし、テスト済みディバイスを盛るための収納位置に空きユーザートレーを位置決めし、テスト済みディバイスが盛られたユーザートレーを重層に積載するユーザートレースタッカと、 前記供給位置のユーザートレーからディバイスをピックアップしてローディング位置に存するボートに安着させるとともに、2列に配列された複数のピックアップブロックの列間の間隔および各列毎の列長さがそれぞれ独立して変更可能とされた2列可変ハンドを備えたディバイスローディング部と、 前記ディバイスローディング部から上端の引入口に引き込まれたボートを順次に下降させ、テスト条件に応じてディバイスを加熱したり冷却させ下端の排出口に排出する予熱チャンバと、 前記予熱チャンバ内で予熱されたディバイスをテストヘッドのソケットに接続させテストを行うテストチャンバと、 前記テストチャンバから下端に引き込まれたボートを順次に上昇させ、テスト済みディバイスを常温に回復させ上端に排出する回復チャンバと、 前記回復チャンバから排出されたボートからテスト済みディバイスをピッキングして、テスト結果に応じて複数の移動バッファ上のテスト等級別に区分された特定領域に積載するとともに、1列に配列された複数のピックアップブロックの列長さが変更可能とされた複数の1列可変ハンドを備えるディバイス分類部と、 前記移動バッファ上のディバイスを等級別に区分されたユーザートレーに盛るディバイスアンローディング部とを含むことを特徴とするRAMバスハンドラ。
IPC (2件)：
G01R 31/26 ( 200 6.01) ,  G01R 31/28 ( 200 6.01)
FI (3件)：
G01R 31/26 Z ,  G01R 31/26 H ,  G01R 31/28 H
引用特許：
審査官引用 (4件)
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