特許
J-GLOBAL ID：200903065755437549
被検査物の位置決め方法、および、それが用いられる検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷 義一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-025411
公開番号（公開出願番号）：特開平11-223656
出願日： 1998年02月06日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：
【要約】【課題】 被検査物の外殻部の寸法精度に影響されることなく被検査物を基板における各接続端子に対して精度よく位置決めすることができ、しかも、端子が高密度化された被検査物についても精度よく位置決めすることができること。【解決手段】 被検査物としての半導体素子26が位置調整部材36の載置部38に載置されるもとで、保持体24により半導体素子26が所定の基準位置に保持された後、半導体素子26が保持された保持体24の斜面部24cが収容部材50の斜面部50aに係合されて半導体素子26が導電性シート部材54の端子部54aに接続されるもの。
請求項（抜粋）：
内部に電子回路を有する被検査物を選択的に保持する保持体が該被検査物の端子の該保持体に対する相対位置を該保持体の所定の基準位置に一致させて該被検査物を保持する第1の工程と、前記第1の工程において前記保持体により保持された前記被検査物の端子に電気的に接続される電極を有する基板の該電極の該被検査物を保持した保持体に対する相対位置を、該保持体の前記所定の基準位置に一致させて該被検査物を該基板に配設する第2の工程と、を含んで構成される被検査物の位置決め方法。
IPC (3件)：
G01R 31/26
, H01L 23/32
, H01R 33/76
G01R 31/26 Z
, G01R 31/26 J
, H01L 23/32 A
, H01R 33/76
