特許

J-GLOBAL ID：201103035049200988

赤外線固体撮像素子

発明者： 木股 雅章 ,  石川 智広 ,  堤 和彦 ,  秦 久敏
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (2件)： 朝日奈 宗太 ,  佐木 啓二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-370864
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146686
特許番号：特許第3574368号
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】熱型光検出器と、入射赤外線による前記熱型光検出器の特性変化を検出する手段とが集積されてなる温度検出機構が、半導体基板上に各画素ごとに2次元に配列された2次元赤外線固体撮像素子であって、前記各画素ごとに、前記半導体基板への熱の流出を制御する材料からなる支持脚によって支えられておりかつ温度検出素子を含む温度検出部と、該温度検出部と少なくとも1本の接合柱で結合された赤外線吸収部とを前記半導体基板上に設け、前記接合柱の熱抵抗は前記支持脚の熱抵抗よりも小さく、前記赤外線吸収部は、酸化シリコンまたは窒化シリコンあるいは酸化シリコンと窒化シリコンの積層膜から構成され、2次元に配列された前記各画素と等しく、かつ、画素ごとに等しい面積を有する赤外線固体撮像素子。

IPC (6件)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/48 ,  H01L 27/14 ,  H01L 35/32 ,  H01L 37/02 ,  H04N 5/33

FI (6件)：

G01J 1/02 C ,  G01J 5/48 ,  H01L 35/32 A ,  H01L 37/02 ,  H04N 5/33 ,  H01L 27/14 K

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 熱形光センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-323852   出願人：木村光照
• 特開平4-252086
  
• 特表平7-507867