特許

J-GLOBAL ID：201103035117509631

オキシハロゲン化物系部材

発明者： 高井 康
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (3件)： 荒井 鐘司 ,  河野 尚孝 ,  嶋崎 英一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-362945
公開番号（公開出願番号）：特開2000-239067
特許番号：特許第4160224号
出願日： 1999年12月21日
公開日（公表日）： 2000年09月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】フッ素系及び塩素系などのハロゲン系腐食ガスあるいはそれらのプラズマに曝される部位が、一般式LnZ3-2xOx(LnはY、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Luのうち1種又は2種以上からなり、ZはF、Cl、Br、Iのうち1種又は2種以上からなり、0<x<1である)で表わされる焼結体であることを特徴とするオキシハロゲン化物系部材。

IPC (2件)：

C04B 35/50 ( 200 6.01) ,  H01L 21/3065 ( 200 6.01)

FI (2件)：

C04B 35/50 ,  H01L 21/302 101 G

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 半導体製造用耐食性部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-155798   出願人：京セラ株式会社