特許
J-GLOBAL ID：201103035254983693
光学系ズレ推定装置、光学系ズレ調整装置、光学系ズレ推定方法、及び光学系ズレ調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
曾我 道治
, 池谷 豊
, 古川 秀利
, 鈴木 憲七
, 梶並 順
, 白石 泰三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-283674
公開番号（公開出願番号）：特開2002-228543
特許番号：特許第4140684号
出願日： 2001年09月18日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被測定光学系通過後に空間を伝播する波面を測定し、その測定波面から上記被測定光学系の光学的配置のズレ量を推定する装置であって、
a)上記被測定光学系の設置姿勢を変化させる正立・倒立姿勢設定手段、
b)光の干渉現象を用いずに上記各設置姿勢における波面を測定する非干渉方式波面計測手段、
c)上記非干渉方式波面計測手段にて求められた波面測定値を多項式に展開する多項式近似手段、
d)上記非干渉方式波面計測手段の測定値、あるいは上記多項式近似手段の演算値を平均する平均化演算手段、及び
e)上記多項式の特定の係数値を抽出する多項式特定係数抽出演算手段
を有し、
上記非干渉方式波面計測手段は、
b1)平行光を発生する平行光発生手段、
b2)上記平行光発生手段の平行光を上記被測定光学系に曲げて導く屈曲手段、
b3)上記被測定光学系を通過後の光束を分割して結像する結像手段、
b4)上記結像手段の結像面に設置された撮像手段、
b5)上記撮像手段による画像から集光強度スポットの重心位置を求める重心位置測定手段、
b6)上記重心位置測定手段の重心位置から波面の傾き量を求める波面傾き演算手段
を有し、
上記平均化演算手段は、上記撮像手段の画像を積算平均する
ことを特徴とする光学系ズレ推定装置。
IPC (2件)：
G01M 11/00 ( 200 6.01)
, G02B 23/02 ( 200 6.01)
G01M 11/00 L
, G01M 11/00 M
, G02B 23/02
審査官引用 (2件)
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干渉計測装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-142739
出願人：株式会社ニコン
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波面センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-221970
出願人：三菱電機株式会社
引用文献：
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