特許

J-GLOBAL ID：201103035405086028

レジスト剥離剤

発明者： 原 靖
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-227567
公開番号（公開出願番号）：特開2002-040675
特許番号：特許第4501248号
出願日： 2000年07月24日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】20〜50重量%のN-アルキルモルホリンオキシドを必須成分とすることを特徴とするレジスト剥離剤。

IPC (2件)：

G03F 7/42 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G03F 7/42 ,  H01L 21/30 572 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特表平5-504204
  
• 特開昭63-186243
  
• ポジ型レジスト用剥離液
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-011554   出願人：東京応化工業株式会社