機械式光スイッチ及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平山一幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-554107
特許番号：特許第3438139号
出願日： 2001年01月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 Si単結晶基板に、光ファイバーを固定する複数のV溝と、これらのV溝に固定された複数の光ファイバー間の光路を切り替える可動ミラーと、この可動ミラーを駆動する外力印加手段とを備え、上記V溝と上記可動ミラーが結晶方位面依存エッチングにより上記単結晶基板に同時に形成され、上記V溝と上記可動ミラー面が上記Si単結晶基板の結晶方位面の精度で定まる位置精度で配置されていることを特徴とする、機械式光スイッチ。

IPC (1件)：