特許
J-GLOBAL ID：200903075246719590
光スイッチ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村井 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-304970
公開番号（公開出願番号）：特開平11-119123
出願日： 1997年10月20日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 V字型溝により光ファイバーの位置決めを正確に行うとともに可動ミラーと光ファイバーの光路との位置合わせを正確に実行可能な光スイッチを提供する。【解決手段】 主面が(100)面のSi基板1にミラー配置用空間2を形成するとともに複数の光ファイバー固定のためのV字型溝3を形成し、前記Si基板1の主面上に成膜された膜の一部でミラー構造体11を形成し、該ミラー構造体11の表面に反射膜を設けて可動ミラー10とし、前記V字型溝3に光ファイバー21〜24を固定し、前記可動ミラー10を複数の光ファイバー間の前記ミラー配置用空間2に配して、前記可動ミラー10の駆動により光路を変更する構成である。
請求項（抜粋）：
主面が(100)面のSi基板にミラー配置用空間を形成するとともに複数の光ファイバー固定のためのV字型溝を形成し、前記Si基板の主面上に成膜された膜の一部でミラー構造体を形成し、該ミラー構造体の表面に反射膜を設けて可動ミラーとし、前記V字型溝に光ファイバーを固定し、前記可動ミラーを複数の光ファイバー間の前記ミラー配置用空間に配して、前記可動ミラーの駆動により光路を変更すること特徴とする光スイッチ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G02B 26/08 E
, G02B 26/08 F
, G02B 6/00 C
