光スイッチ及びその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：村井隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-304970
公開番号（公開出願番号）：特開平11-119123
出願日： 1997年10月20日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】 V字型溝により光ファイバーの位置決めを正確に行うとともに可動ミラーと光ファイバーの光路との位置合わせを正確に実行可能な光スイッチを提供する。【解決手段】主面が(100)面のSi基板1にミラー配置用空間2を形成するとともに複数の光ファイバー固定のためのV字型溝3を形成し、前記Si基板1の主面上に成膜された膜の一部でミラー構造体11を形成し、該ミラー構造体11の表面に反射膜を設けて可動ミラー10とし、前記V字型溝3に光ファイバー21〜24を固定し、前記可動ミラー10を複数の光ファイバー間の前記ミラー配置用空間2に配して、前記可動ミラー10の駆動により光路を変更する構成である。

請求項（抜粋）：

主面が(100)面のSi基板にミラー配置用空間を形成するとともに複数の光ファイバー固定のためのV字型溝を形成し、前記Si基板の主面上に成膜された膜の一部でミラー構造体を形成し、該ミラー構造体の表面に反射膜を設けて可動ミラーとし、前記V字型溝に光ファイバーを固定し、前記可動ミラーを複数の光ファイバー間の前記ミラー配置用空間に配して、前記可動ミラーの駆動により光路を変更すること特徴とする光スイッチ。

IPC (2件)：

G02B 26/08 , G02B 6/00

FI (3件)：

G02B 26/08 E , G02B 26/08 F , G02B 6/00 C

引用特許：

審査官引用 (4件)

マトリクス光スイツチ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-301032 出願人：日本電信電話株式会社
特開昭57-139704
光導波路素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-064559 出願人：株式会社ニコン

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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