露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山下穣平
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-180117
公開番号（公開出願番号）：特開2001-007016
特許番号：特許第3301412号
出願日： 1999年06月25日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】パルス光源と、該パルス光源から発せられたパルス光を被露光体へと導くための光学系とを備え、前記パルス光を複数個照射することで前記被露光体に対する1ショットの露光を行う露光装置において、前記光学系内で前記パルス光のエネルギーを検出するパルスエネルギー検出手段と、該パルスエネルギー検出手段により検出される複数のパルスエネルギー値に基づきパルスエネルギーばらつき値を算出し、該パルスエネルギーばらつき値と被露光体露光量ばらつきの許容上限値とに基づき被露光体露光の最小露光パルス数を算出し、前記光源が1ショット露光で発するパルスの個数の下限値として前記最小露光パルス数を設定する設定手段とを有することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：