特許
J-GLOBAL ID：201103035719157612
プレーナー型ガルバノミラー
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
笹島 富二雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-016727
公開番号（公開出願番号）：特開2002-221687
特許番号：特許第4642246号
出願日： 2001年01月25日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 半導体基板に形成された平板状の可動板と、
前記半導体基板に前記可動板と一体に形成され、前記可動板を前記半導体基板に対して半導体基板上下方向に揺動可能に軸支するトーションバーと、
前記可動板に設けられ、通電により磁界を発生する平面コイルと、
前記可動板に設けられたミラーと、
前記半導体基板が搭載された台座基板と、前記半導体基板のトーションバーの軸方向と平行に配置されて前記可動板の平面コイルに磁界を作用させるための対をなす永久磁石及びヨークと、が上面に固定されるとともに、前記半導体基板に形成されたパターン部と電気的に接続されるパターン部が上面に設けられたベース基板と、
開口部を有し、前記半導体基板、前記永久磁石及び前記ヨークを覆うように設けられたカバー部材と、
前記ミラーに向かって光を照射する光源と、
を備え、
前記光源は、前記可動板よりも上方の位置に形成されて前記ベース基板の下面と所定角度をなす前記カバー部材の傾斜面に設けられ、
前記ミラーは、前記可動板の非可動時に、前記光源からの入射光の反射光が前記ベース基板の下面と直交するように配置され、
前記光源からの入射光の前記ミラーによる反射光が前記開口部を通過するように構成されていることを特徴とするプレーナー型ガルバノミラー。
IPC (4件)：
G02B 26/10 ( 200 6.01)
, G02B 26/08 ( 200 6.01)
, B41J 2/44 ( 200 6.01)
, H04N 1/113 ( 200 6.01)
G02B 26/10 104 Z
, G02B 26/08 E
, B41J 3/00 D
, H04N 1/04 104 A
