エッチング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：筒井大和 , 小塚善高 , 鷹野寧
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-282182
公開番号（公開出願番号）：特開2001-107268
特許番号：特許第3977555号
出願日： 1999年10月01日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】均一のエッチャントフイルムの形成が可能なエッチング装置であって、両面ボードの支持に使用される平行で共面の複数の中空シート型ローラ上に配置され、複数の第1のエッチャントノズルを中空シート型ローラの下側に配置したエッチング装置において、中空シート型ローラ上で相互に平行で間隔を置いて共面に配置し、それぞれの間隔が複数の第1の間隔と複数の第2の間隔に分けられ、両面ボードに接触して両面ボードを覆うエッチャントフイルムをより均一にさせる複数の中実ローラと、前記第1の間隔上に前記中実ローラの軸線と平行に配置する複数の列の第2のエッチャントノズルと、前記第2の間隔上に中実ローラの軸線と平行に配置する複数の列のエアーノズルとを有し、隣接する第1の間隔における前記エッチャントフラックスが、異なる方向へ流れることを特徴とするエッチング装置。

IPC (2件)：

C23F 1/08 ( 200 6.01) , H05K 3/06 ( 200 6.01)

FI (2件)：

C23F 1/08 101 , H05K 3/06 Q

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭53-064770
特開平3-072088
特開平4-048087

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