インクジェットペン用オリフィスプレートの製造方法とインクジェットプリントヘッド用オリフィスプレート

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：古谷聡 , 溝部孝彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-176221
公開番号（公開出願番号）：特開2001-010068
特許番号：特許第3819217号
出願日： 2000年06月13日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】インクジェットペン用のオリフィスプレートの製造方法において、外側表面および深さを有するフォトレジスト材料の層を基板上に設けるステップであって、少なくとも2つの加熱素子を備える前記基板にフォトレジスト層を塗布するステップと、前記フォトレジスト層を露光するステップであって、前記層に電磁放射を照射し、前記層に、少なくとも2つの環状部を、前記加熱素子と同心軸状に整列するように設け、前記一方の環状部の深度が他方の環状部の深度よりも大きくなるようにこれら環状部を画定し、一方の前記環状部に向けられる前記放射の強度が他方の環状部に向けられる放射の強度と異なるものであり、前記環状部間の領域においては前記フォトレジスト層の全深さを露光するステップと、前記層のうち露光されていない部分を除去し、現像するステップであって、前記層の、前記環状部に取り囲まれる部分を除去することによってオリフィスを画定し、前記層の、前記環状部と前記基板との間の部分を除去することによって、それぞれの環状部について、その環状部の固有の径を有するオリフィスに連通するチャンバを画定するステップとからなるインクジェットペン用オリフィスプレートの製造方法。

IPC (2件)：

B41J 2/135 ( 200 6.01) , B41J 2/05 ( 200 6.01)

FI (2件)：

B41J 3/04 103 N , B41J 3/04 103 B

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平3-208660
インクジェット記録ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-208575 出願人：ミノルタ株式会社
特開平3-208660

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