特許
J-GLOBAL ID：201103036673036218

複数の流入口を備えた高精度質量流量検証器

発明者：
ディーン,ジュインホワ

ディーン,ジュインホワ について

, 
ザーカー,カヴェー

ザーカー,カヴェー について


出願人/特許権者：
エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド

エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド について


代理人 (5件)： 小野 新次郎 ,  社本 一夫 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-549684
公開番号（公開出願番号）：特表2011-515660
出願日： 2009年01月21日
公開日（公表日）： 2011年05月19日
要約：
低い流入圧力において広い流量検証範囲にわたって高い測定精度をもたらす高精度質量流量検証器(HAMFV)が、流体送達デバイスによる流量測定値を検証するために開示される。HAMFVは、上流バルブを有する複数Nの流入口を画定するチャンバ、1つの下流バルブを有する1つの流出口、チャンバ内の流体圧力を測定するように構成される圧力センサ、およびチャンバ内の流体温度を測定するように構成される温度センサを備える。複数Nの臨界流ノズルが、対応する上流バルブに隣接して配設される。HAMFVは、所望の流量検証範囲および流体の種類に基づいて、対応する上流バルブを開き、他の全ての上流バルブを閉じることによって、複数Nの臨界流ノズルの1つを起動するように構成されるコントローラをさらに備える。複数Nの臨界流ノズルの少なくとも2つは、異なる断面積を有する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
流体送達デバイスによる流体の流量測定値を検証するための質量流量検証器であって、該質量流量検証器は、 複数Nの流入口を画定し、前記デバイスからの前記流体の流れを前記流入口の各々において受け入れるように構成されているチャンバと、 前記チャンバ内の前記流体の圧力を測定するように構成される圧力センサと、 複数Nの臨界流ノズルであって、その各々が対応する前記流入口の1つに隣接して、前記対応する流入口を通る前記デバイスから前記チャンバへの流体の流路に沿った前記チャンバの上流に位置決めされている臨界流ノズルと、を備えており、 全てのi(i=1...N)において、前記i番目の臨界流ノズルにおける臨界流時間tcf,i(i=1...N)中に、前記i番目の臨界流ノズルは、前記i番目の臨界流ノズルを通る前記流体の流量を実質的に一定に保持し、前記チャンバ内の圧力の変動に実質的に影響されないように構成される質量流量検証器。
IPC (2件)：
G01F 25/00 ,  G05D 7/06
FI (2件)：
G01F25/00 E ,  G05D7/06 B
Fターム (14件)：
5H307AA01 ,  5H307BB01 ,  5H307BB05 ,  5H307CC01 ,  5H307DD01 ,  5H307DD08 ,  5H307EE02 ,  5H307ES01 ,  5H307FF12 ,  5H307FF15 ,  5H307GG01 ,  5H307GG15 ,  5H307HH06 ,  5H307JJ01
引用特許：
審査官引用 (1件)

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