特許
J-GLOBAL ID：200903053288805158
臨界流に基づく質量流量検証器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
小野 新次郎
, 社本 一夫
, 小林 泰
, 千葉 昭男
, 富田 博行
, 上田 忠
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-518530
公開番号（公開出願番号）：特表2009-543061
出願日： 2007年06月27日
公開日（公表日）： 2009年12月03日
要約：
流体送達被試験デバイス(DUT)による測定値を検証するための流量検証器が、DUTからの流体の流れを収容するように構成されるチャンバと、チャンバ内の気体温度を与える少なくとも1つの温度センサと、チャンバ内の気体圧力を与える少なくとも1つの圧力変換器と、DUTからチャンバへの流体の流路に沿ってチャンバの上流に位置決めされる臨界ノズルとを備える。臨界ノズル及び流量検証過程は、ノズルを通る流体の流量を臨界流条件に保持するように構成され、それによって、特定の流量検証時間中に、ノズルを通る流量が実質的に一定であり、且つノズルの下流のチャンバ内のいかなる圧力の変動にも実質的に影響を及ぼされないようになる。それゆえ、流量検証時間中にチャンバ圧力が変化しても、DUTの下流圧力には実質的に影響がなく、流量検証器とDUTとの間の外部体積は流量検証計算に実質的に無関係である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
流体送達デバイスによる測定値を検証するための流量検証器であって、該流量検証器は、
前記デバイスからの前記流体の流れを収容するように構成されるチャンバと、
前記チャンバ内の前記流体の圧力を測定するように構成される圧力センサと、
前記チャンバ内の前記流体の温度を測定するように構成される温度センサと、
前記デバイスから前記チャンバへの前記流体の流路に沿って、前記チャンバの上流に位置決めされる臨界ノズルとを備え、
前記臨界ノズルは、臨界流時間tcf中に、前記ノズルを通る前記流体の流量を実質的に一定に保持し、且つ前記チャンバ内の圧力の変動の影響を実質的に受けないように構成される、流体送達デバイスによる測定値を検証するための流量検証器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01F25/00 E
, H01L21/02 Z
