特許
J-GLOBAL ID：201103036695209752
基板処理装置および基板処理装置のシミュレート装置並びにコンピュータ読み取り可能な記録媒体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
吉田 茂明
, 吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-278309
公開番号（公開出願番号）：特開2001-102425
特許番号：特許第3977554号
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 1または複数の基板からなる複数の基板群を、複数の処理部に順次に搬送していくことで、前記複数の基板群のそれぞれに対して所定の処理を施す基板処理装置であって、
(a) 基板群ごとのレシピに応じて単位時間ごとの所定の用力の用力消費量を求める用力消費量算出手段と、
(b) 前記複数の基板群ごとに求められる前記用力消費量を前記単位時間ごとに累積して前記用力の総消費量を求めて、当該総消費量が所定の範囲内にあるか否かを判定し、前記総消費量が前記範囲内にない場合に、前記総消費量が前記範囲内にない時間幅を求め、前記複数の基板群のうちの少なくとも1つの基板群の投入タイミングを前記時間幅だけ遅延せることにより、前記総消費量を前記範囲内となるように設定するタイミング修正手段と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。
IPC (5件)：
H01L 21/677 ( 200 6.01)
, B65G 49/06 ( 200 6.01)
, B65G 49/07 ( 200 6.01)
, H01L 21/02 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
H01L 21/68 A
, B65G 49/06 Z
, B65G 49/07 Z
, H01L 21/02 Z
, H01L 21/304 648 G
