特許
J-GLOBAL ID：201103038286739122
研削切断方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-160750
公開番号（公開出願番号）：特開2000-343403
特許番号：特許第3657817号
出願日： 1999年06月08日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1の基板の端面に端部が到達する気体抜きのための第1および第2の溝を所定の幅で所定の深さにマトリクス状に形成する工程と、 第2の基板を前記第1の基板の前記第1および第2の溝形成面に貼り合わせて貼り合わせ基板を形成する工程と、 回転するブレードにより前記第1の溝に沿って前記貼り合わせ基板を研削切断する工程と、 前記回転するブレードにより前記第2の溝に沿って前記貼り合わせ基板を研削切断する工程と を備えた研削切断方法において、 前記第1の溝と前記第2の溝との交差箇所に隣接する前記第2の溝の幅を所定の長さにわたって他の領域より狭く形成することを特徴とする研削切断方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 27/06 M
, H01L 21/304 631
