特許

J-GLOBAL ID：201103038363204016

フィードバック制御装置および半導体製造装置並びにその温度制御方法

発明者： 山口 英人 ,  田中 和夫 ,  中野 稔 ,  上野 正昭
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
代理人 (1件)： 梶原 辰也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-249703
公開番号（公開出願番号）：特開2001-075605
特許番号：特許第4070369号
出願日： 1999年09月03日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 制御対象の制御量と目標値との偏差を少なくとも積分して制御信号を生成し、この制御信号を予め設定された第一の制限範囲により制限して制御対象への制御出力信号として出力するフィードバック制御装置において、 前記第一の制限範囲が設定され、前記制御出力信号を出力する第一の出力制限部と、 前記制御対象からの制御量が目標値に一致しているときの制御対象への制御出力信号を基準値として、この基準値から正負両側に略同じ値であるように第二の制限範囲が設定される第二の出力制限部と、 前記制御信号が前記第一の制限範囲内であって、かつ、前記第一の制限範囲よりも小さい前記第二の制限範囲を超えた場合に前記積分を抑制する積分抑制部と、 を備えていることを特徴とするフィードバック制御装置。

IPC (3件)：

G05B 11/36 ( 200 6.01) ,  G05B 13/02 ( 200 6.01) ,  H01L 21/22 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G05B 11/36 501 P ,  G05B 13/02 B ,  H01L 21/22 Z

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-345323   出願人：理化工業株式会社

審査官引用 (1件)

• 制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-345323   出願人：理化工業株式会社