特許

J-GLOBAL ID：201103038435088334

半導体装置の検査装置及び半導体装置の検査方法

発明者： 中野 雅仁
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 畑 泰之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-129281
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321327
特許番号：特許第3235594号
出願日： 1999年05月10日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 複数個の被検査半導体装置を同時に検査して、当該検査結果に応じて、当該複数個の被検査半導体装置を所定のカテゴリに分類する様に構成された半導体装置の検査装置におけるハンドラ装置に於いて、予め定められた所定の特性値を持った基準サンプルを測定部の複数のDUT部のそれぞれに順次に搭載せしめる基準サンプル順次搭載手段、所定の測定を行った後、当該基準サンプルの持つ当該所定の特性値に関する予め定められた基準値と、当該測定された当該特性値に関する測定値との差分値から、当該各DUT部毎の所定の特性値に関する測定値に対する補正値を決定する手段とから構成されている半導体装置の検査装置であって、当該それぞれのDUT部に於いて、当該基準サンプルを当該基準サンプル順次搭載手段により、予め定められた所定の部位のDUT部のみに、順次搭載する場合には、当該DUT部に於ける予め定められた所定の部位のDUT部は、過去の当該特性値に関する測定操作に於て、収集された当該DUT部の所定の特性値に関する測定データが、予め定められた基準値を越えるバラツキを示すDUT部である事を特徴とする半導体装置の検査装置。

IPC (2件)：

G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 31/26 Z ,  G01R 31/26 G ,  H01L 21/66 G

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-164718   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 特開昭59-087377
  
• 特開平4-012286