特許
J-GLOBAL ID：201103038488065212
誘電体バリア放電ランプを使った光源装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-364362
公開番号（公開出願番号）：特開2002-168999
特許番号：特許第3757790号
出願日： 2000年11月30日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 誘電体バリア放電によって真空紫外光を放射する放電用ガスが充填された放電容器の外面に一方の電極が設けられた誘電体バリア放電ランプと、この誘電体バリア放電ランプを溝部において支持するとともに当該誘電体バリア放電ランプを冷却するための金属ブロックと、この金属ブロックを冷却する手段とよりなる誘電体バリア放電ランプを使った光照射装置において、
前記誘電体バリア放電ランプと前記金属ブロックの溝部との間には、両者に接触して挟まれ、かつ、誘電体バリア放電ランプ側の表面は真空紫外光に対する反射特性を有する反射ミラーが、前記金属ブロックと着脱可能であって、前記誘電体バリア放電ランプの一方の電極の外側に配置することを特徴とする誘電体バリア放電ランプを使った光照射装置。
IPC (2件)：
G21K 5/00 ( 200 6.01)
, H01J 65/00 ( 200 6.01)
G21K 5/00 Z
, H01J 65/00 A
