特許
J-GLOBAL ID：201103038489395658
被処理体の搬送方法および被処理体処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-275615
公開番号（公開出願番号）：特開2011-119468
出願日： 2009年12月03日
公開日（公表日）： 2011年06月16日
要約：
【課題】 各種処理における処理時間を短縮しても生産性が頭打ちになる事情を抑制できる被処理体の搬送方法を提供すること。【解決手段】 処理室を、被処理体をn枚同時に処理可能に構成し(ただし、nは2以上の自然数とする)、搬送装置を、被処理体を前記n+1枚以上保持可能に構成し、搬送装置を用いて、ロードロック室から搬送室に対し、処理前の被処理体をn枚搬出する工程と、(1)搬送装置を用いて処理室から搬送室に対し、処理済の被処理体を少なくとも1枚搬出する工程と、(2)搬送装置を用いて搬送室から処理室に対し、搬送装置に保持された処理前の被処理体を少なくとも1枚搬入する工程と、を備え、(1)及び(2)の工程を、処理室に収容された処理済の被処理体が、搬送装置に保持された処理前の被処理体に全て交換されるまで繰り返す(工程2)。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
被処理体を搬送する搬送装置が配置された搬送室と、前記搬送室の周囲に配置され、前記被処理体に処理を施す処理室と、前記搬送室の周囲に配置され、前記被処理体の周囲の環境を前記搬送室の内部の環境に変換するロードロック室と、を備えた被処理体処理装置の被処理体搬送方法であって、
前記処理室を、前記被処理体をn枚同時に処理可能に構成し(ただし、nは2以上の自然数とする)、
前記搬送装置を、前記被処理体を前記n+1枚以上保持可能に構成し、
(0) 前記搬送装置を用いて、前記ロードロック室から前記搬送室に対し、処理前の被処理体をn枚搬出する工程と、
(1) 前記搬送装置を用いて、前記処理室から前記搬送室に対し、処理済の被処理体を少なくとも1枚搬出する工程と、
(2) 前記搬送装置を用いて、前記搬送室から前記処理室に対し、前記搬送装置に保持された前記処理前の被処理体を少なくとも1枚搬入する工程と、
を備え、
前記(1)及び(2)の工程を、前記処理室に収容された前記処理済の被処理体が、前記搬送装置に保持された前記処理前の被処理体に全て交換されるまで繰り返すことを特徴とする被処理体の搬送方法。
IPC (4件)：
H01L 21/677
, B65G 49/07
, H01L 21/306
, H01L 21/205
H01L21/68 A
, B65G49/07 C
, H01L21/302 101G
, H01L21/205
5F004AA16
, 5F004BB19
, 5F004BC06
, 5F004BD04
, 5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031FA11
, 5F031FA15
, 5F031GA04
, 5F031GA45
, 5F031GA47
, 5F031HA59
, 5F031MA04
, 5F031PA02
, 5F045AF01
, 5F045BB08
, 5F045DP15
, 5F045DQ17
, 5F045EN04
