特許
J-GLOBAL ID：200903009441663415

基板返送ユニット、及び基板移送方法、そして前記ユニットを有する基板処理装置、及び前記ユニットを利用した基板処理方法

発明者：
パク ドン ソク

パク ドン ソク について

, 
ソル サン ホ

ソル サン ホ について


出願人/特許権者：
ピーエスケー・インコーポレーテッド

ピーエスケー・インコーポレーテッド について


代理人 (3件)： 西川 惠清 ,  森 厚夫 ,  竹尾 由重
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-219938
公開番号（公開出願番号）：特開2008-277725
出願日： 2007年08月27日
公開日（公表日）： 2008年11月13日
要約：
【課題】上下に離隔して基板が在置される第1支持板と側方向に並んで基板が在置される第2支持板との間で2つの基板を同時に移送するユニットを提供する。【解決手段】返送ユニット30は、上下に対向する折り畳まれた状態と折り畳まれた状態から相互に反対方向に既定の角度回転された広げた状態に転換可能な上部ブレードと下部ブレードを有し、折り畳まれた状態で第1支持板に基板を置いたり取り出したりし、広げた状態で第2支持板に基板を在置したり取出したりする。各上部ブレード、下部ブレードは、両端に各々基板が在置される第1支持部と第2支持部を備え、第1支持部と第2支持部のうち何れか1つに第2支持板に入れる基板が在置された状態で他の1つの支持部が第2支持板に在置された基板を取り出すことができ、又他の1つの支持部に第2支持板から取り出した基板が在置された状態で1つの支持部に在置された基板が第2支持板に在置することができる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板を返送するユニットであって、 基板が在置されるブレード部材と、 前記ブレード部材に結合され、前記ブレード部材を移動するアーム部材と、 前記ブレード部材又は前記アーム部材へ駆動力を提供する駆動部材とを備え、 前記ブレード部材は、 下部ブレードと、 前記下部ブレードの上部に位置され、前記下部ブレードに対する相対位置が変化可能な上部ブレードとを備えることを特徴とする基板返送ユニット。
IPC (3件)：
H01L 21/677 ,  B65G 49/07 ,  B65G 49/06
FI (3件)：
H01L21/68 B ,  B65G49/07 C ,  B65G49/06
Fターム (6件)：
5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031GA03 ,  5F031GA43 ,  5F031MA04 ,  5F031NA05
引用特許：
審査官引用 (13件)
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