特許
J-GLOBAL ID：201103038524008964

シャワーヘッド、シャワーヘッド製造方法、およびシャワーヘッド再生方法

発明者：
河原 史朋

河原 史朋 について


出願人/特許権者：
三井造船株式会社

三井造船株式会社 について


代理人 (2件)： 渡辺 望稔 ,  三和 晴子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-255153
公開番号（公開出願番号）：特開2011-100882
出願日： 2009年11月06日
公開日（公表日）： 2011年05月19日
要約：
【課題】上部板と下部板との間で生じる摩擦を緩衝し、パーティクルの発生を抑制することができるシャワーヘッドを提供する。【解決手段】ヒドロキシル基を有する含フッ素エチレン性重合体から構成されると共に上部板10と下部板12との間に介在して上部板10と下部板12とを互いに接合する熱融着シート11を備えるシャワーヘッドとする。前記上部板10,前記下部板12および前記熱融着シート11は、それぞれ複数の貫通孔13,14,15を有し、前記熱融着シート11に形成された複数の貫通孔15は、それぞれ前記上部板および前記下部板に形成された複数の貫通孔13,14よりも大きな径を有することが好ましい。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ガス供給源から供給されたガスを複数の噴出孔を介してプラズマ発生空間に噴出すると共に噴出されたガスにプラズマ発生のための電圧を印加する電極として機能するシャワーヘッドであって、 導電性を有する上部板と、 プラズマに対する耐食性を有する下部板と、 ヒドロキシル基を有する含フッ素エチレン性重合体から構成されると共に前記上部板と前記下部板との間に介在して前記上部板と前記下部板とを互いに接合する熱融着シートと を備えたことを特徴とするシャワーヘッド。
IPC (4件)：
H01L 21/31 ,  H01L 21/306 ,  C23C 16/455 ,  H05H 1/46
FI (4件)：
H01L21/31 C ,  H01L21/302 101B ,  C23C16/455 ,  H05H1/46 A
Fターム (24件)：
4K030CA04 ,  4K030CA17 ,  4K030EA04 ,  4K030FA03 ,  4K030KA02 ,  4K030KA17 ,  4K030LA15 ,  5F004AA16 ,  5F004BA04 ,  5F004BB13 ,  5F004BB18 ,  5F004BB22 ,  5F004BB32 ,  5F004BC03 ,  5F045AA08 ,  5F045DP03 ,  5F045DQ10 ,  5F045EB05 ,  5F045EF05 ,  5F045EF11 ,  5F045EH05 ,  5F045EH08 ,  5F045EH14 ,  5F045EM05
引用特許：
審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM