特許
J-GLOBAL ID：200903060925372593
容量的結合型プラズマチェンバー、シャワーヘッドの構造、製造方法並びに新たに再生リサイクルする方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯兼 智生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-004245
公開番号（公開出願番号）：特開2008-211183
出願日： 2008年01月11日
公開日（公表日）： 2008年09月11日
要約：
【課題】 本発明は容量的結合型プラズマチェンバー、シャワーヘッドの構造、製造方法並びに新たに再生リサイクルする方法を提案するものである。【解決手段】 前記シャワーヘッドは低抵抗値を有数する本体層とその表面上にコーティングされたシリコンカーバイド層から構成される。前記シャワーヘッドはRFエネルギーを効率よくプラズマ中で容量的結合させることができる。本発明はまたシャワーヘッドの製作方法を提供して微塵粒子の発生を顕著に減らすことができる。このほか、本発明はシャワーヘッドを再生リサイクルする方法を別途提供し、ユーザーの利用コストを大幅に節減させることができる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
容量的結合型プラズマチェンバー中に使用されるシャワーヘッドであって、低抵抗材料で製作された本体層と、前記本体層の下表面にコーティングされたCVD(化学蒸着法)によるシリコンカーバイドコーティング層と、前記本体層と前記シリコンカーバイドコーティング層を貫通する多数のガス噴射孔を含むことを特徴とするシャワーヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/302 101B
, C23F4/00 A
4K057DA16
, 4K057DB06
, 4K057DD01
, 4K057DM03
, 4K057DM10
, 4K057DM16
, 4K057DM31
, 4K057DM37
, 4K057DM40
, 4K057DN01
, 5F004AA01
, 5F004AA13
, 5F004AA16
, 5F004BA09
, 5F004BB18
, 5F004BB28
, 5F004CA06
, 5F004DA00
, 5F004DA26
