特許

J-GLOBAL ID：201103038547729006

半導体検査装置

発明者： 早川 久登
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-113735
公開番号（公開出願番号）：特開2001-296339
特許番号：特許第3531577号
出願日： 2000年04月14日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 信号を入力する入力端子と、前記入力端子に接続され、第1の電源電位で動作するアナログ回路と、前記入力端子に接続され、入力した前記信号を通過させるかまたは固定値として出力する論理回路と、前記論理回路の出力部と接続され、通常動作時とテスト動作時とに対応した制御信号を生成し、第2の電源電位で動作するデジタル回路と、前記論理回路に供給する電源を切り換えるスイッチ手段とを備え、通常動作時は、前記信号としてアナログ信号を入力し、かつ前記デジタル回路は前記論理回路に前記アナログ信号を通過させず、かつ前記スイッチ手段は前記論理回路に前記第1の電源電位を供給し、テスト動作時は、前記信号としてテスト信号を入力し、かつ前記デジタル回路は前記論理回路に前記テスト信号を通過させ、かつ前記スイッチ手段は前記論理回路に前記第2の電源電位を供給することを特徴とする半導体検査装置。

IPC (3件)：

G01R 31/28 ,  G01R 31/316 ,  G01R 31/3185

FI (2件)：

G01R 31/28 W ,  G01R 31/28 C

引用特許：

出願人引用 (2件)

• テスト信号入力回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-184243   出願人：日本電気株式会社
• 半導体集積回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-206166   出願人：日本電気株式会社