特許
J-GLOBAL ID:201103039280127504
研磨パッド用ウレタン成形物の製造方法及び研磨パッド用ウレタン成形物
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大野 克躬 (外1名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-157421
公開番号(公開出願番号):特開2000-344850
特許番号:特許第3316757号
出願日: 1999年06月04日
公開日(公表日): 2000年12月12日
請求項(抜粋):
【請求項1】 未発泡の加熱膨脹性微小球状体(A)とイソシアネート基末端ウレタンプレポリマー(B)と活性水素含有化合物(C)の合計量に対し、水(D)を0.005〜0.5重量%混合し、反応熱及び外部からの加熱により未発泡の加熱膨脹性微小球状体(A)を発泡させるとともに、水(D)による気泡を形成させることを特徴とする研磨パッド用ウレタン成形物の製造方法。
IPC (8件):
C08G 18/00
, B24B 37/00
, C08G 18/10
, C08G 18/32
, C08J 9/12
, C09K 3/14 550
, H01L 21/304 622
, C08J 5/14 CFF
FI (8件):
C08G 18/00 H
, B24B 37/00 C
, C08G 18/10
, C08G 18/32 F
, C08J 9/12
, C09K 3/14 550 L
, H01L 21/304 622 F
, C08J 5/14 CFF
引用特許:
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