特許
J-GLOBAL ID：201103039336315686

生産管理システムおよびそれに用いられるホストコンピュータ並びに記録媒体

発明者：
中島 光一

中島 光一 について

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矢島 則行

矢島 則行 について

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綿谷 健一

綿谷 健一 について


出願人/特許権者：
株式会社日鉱マテリアルズ

株式会社日鉱マテリアルズ について


代理人 (1件)： 荒船 博司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-349139
公開番号（公開出願番号）：特開2002-149759
特許番号：特許第3684501号
出願日： 2000年11月16日
公開日（公表日）： 2002年05月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 所定の対象物に対してスパッタリング法により薄膜を形成する際に使用されるスパッタリングターゲットの発注を行う複数のターゲットユーザ側の通信端末機器と、ターゲットユーザからの発注に応じてスパッタリングターゲットを生産するターゲットメーカ側の通信端末機器と、システムの全体を管理するホストコンピュータとを少なくとも備え、それぞれが所定の通信回線を介して接続されてなるスパッタリングターゲットの生産管理システムであって、 前記ホストコンピュータは、 前記複数のターゲットユーザを各々識別するためのユーザ識別情報と、前記スパッタリングターゲットの土台として使用され所定のターゲット材を貼着可能なバッキングプレートを各々識別するための識別情報と、各バッキングプレートごとにスパッタリングターゲットとして使用された回数およびその際貼着されたターゲット材の材質・品種の種類を含む使用履歴を登録した履歴情報と、を少なくとも格納する記憶手段と、 前記ユーザ識別情報を照合して所定条件を満たすユーザであるか否かを判定するユーザ識別情報認証手段と、を備え、 前記ターゲットユーザ側の通信端末機器は、前記ユーザが前記ユーザ識別情報認証手段により所定条件を満たすユーザであると認証された場合に、前記ホストコンピュータに記憶された情報にアクセス可能とされ、 前記履歴情報は、バッキングプレートがスパッタリングターゲットとして繰り返し再生・加工される度に前記ターゲットメーカの通信端末機器からの情報入力に基づいて追加更新されることを特徴とするスパッタリングターゲットの生産管理システム。
IPC (3件)：
G06F 17/60 ,  C23C 14/34 ,  G05B 19/418
FI (3件)：
G06F 17/60 108 ,  C23C 14/34 C ,  G05B 19/418 Q
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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