特許

J-GLOBAL ID：201103039443132004

研磨パッドおよび研磨装置

発明者： 小池 尚生 ,  新井 雄史 ,  池田 章彦
出願人/特許権者： 旭化成エレクトロニクス株式会社
代理人 (3件)： 森 哲也 ,  内藤 嘉昭 ,  崔 秀▲てつ▼
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-520258
特許番号：特許第3867844号
出願日： 2000年08月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】研磨領域と、透明な窓材からなる光透過領域とをパッド面内に有するケミカルメカニカル研磨用の研磨パッドにおいて、 窓材は、窓面内に屈折率の高い領域と低い領域を有し、各領域は、窓面に垂直な断面内で交互に縞状に配置されている研磨パッド。

IPC (3件)：

B24B 37/04 ( 200 6.01) ,  B24B 37/00 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01)

FI (3件)：

B24B 37/04 K ,  B24B 37/00 C ,  H01L 21/304 622 S

引用特許：

出願人引用 (2件)

• マイクロレンズアレイ板及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-236441   出願人：日東電工株式会社
• 機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドへの透明窓の形成
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-221737   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド