特許

J-GLOBAL ID：201103039503826620

半導体デバイスの検査装置

発明者： 土肥 猛 ,  木村 信一郎
出願人/特許権者： イノテック株式会社
代理人 (1件)： 嶋 宣之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-253810
公開番号（公開出願番号）：特開2000-200811
特許番号：特許第3107798号
出願日： 1999年09月08日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ウエハ基盤を載せるステージと、このステージに対向させプローブ針を備えたプローブカードと、上記ウエハ基盤のコンタクトポイントと上記プローブ針との位置関係を調整して上記プローブ針をコンタクトポイントに接触させるプローバと、プローブ針を接触させたウエハ基盤の機能を検査するテスターとを備えた半導体デバイスの検査装置において、プローブカードに備えた記憶モジュールと、この記憶モジュールとプローバ間でデータ通信を行うための通信手段とを備え、上記記憶モジュールが、通信回路と、この通信回路を介して入力されるデータを記憶する不揮発性メモリと、インダクタンスとを備えるとともに、上記通信手段が、通信回路と、プローバに設けた通信ポートとからなり、上記インダクタンスが外部電波によって発生する誘導起電力で上記通信回路を作動させ、上記通信回路と通信ポート間は非接触でデータ通信可能に構成し、半導体デバイスの検査開始前に、記憶モジュールに記憶したプローブカードの使用履歴データを、上記通信手段を介してプローバに入力し、検査終了後に、プローバで更新した使用履歴データを上記通信手段を介してプローブカードの記憶モジュールへ入力することを特徴とする半導体デバイスの検査装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/26

FI (2件)：

H01L 21/66 B ,  G01R 31/26 J

引用特許：

審査官引用 (2件)

• プローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-106982   出願人：日本電気株式会社
• 特開平4-276890