特許
J-GLOBAL ID：201103039555039627
ノッチ部端面強度評価方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-117648
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306966
特許番号：特許第3861506号
出願日： 1999年04月26日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】被測定用の半導体ウェーハに設けられた溝型のノッチ部内へピンを押圧挿入した後、当該ウェーハを回転させるかピンを押圧しながら移動させて、該溝部から周縁部へピンを相対的に押圧移動させ、その後再度逆にてノッチ部内へピンを押圧挿入する操作を繰り返し、微少チップの発生の有無あるいは溝直線部の摩耗程度にてノッチ部における端面の強度を評価するノッチ部端面強度評価方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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