圧力式流量制御装置における流量異常検知方法

発明者： , , , , , , , , , , ,
出願人/特許権者： , , ,
代理人 (2件)：杉本丈夫 , 三木久巳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-226023
公開番号（公開出願番号）：特開2001-051724
特許番号：特許第3554509号
出願日： 1999年08月10日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】コントロール弁(CV)とオリフィス(2)とこれらの間の上流側圧力P1 を検出する圧力検出器(14)と流量設定回路(32)からなり、上流側圧力P1 を下流側圧力P2 の約2倍以上に保持して下流側の流量QCをQC =KP1 (K:定数)で演算し、この演算流量QC と設定流量QS との差信号QY によりコントロール弁(CV)を開閉制御する圧力式流量制御装置において、流量設定回路(32)から検定振幅VO を有する検定用信号ΔQS を出力し、これに応答して上流側圧力P1 の変動圧力ΔP1 の圧力振幅Vを測定し、この圧力振幅Vが限界振幅Vt より小さくなったときにオリフィスの目詰まりを報知する流量異常検知方法。

IPC (3件)：

G05D 7/06 , F16K 37/00 , G01F 1/36

FI (3件)：

G05D 7/06 Z , F16K 37/00 J , G01F 1/36

引用特許：

出願人引用 (3件)

圧力式流量制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-220367 出願人：大見忠弘, 東京エレクトロン株式会社, 株式会社フジキン
圧力式流量制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-144722 出願人：株式会社フジキン
特開平4-160319

審査官引用 (3件)

圧力式流量制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-220367 出願人：大見忠弘, 東京エレクトロン株式会社, 株式会社フジキン
圧力式流量制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-144722 出願人：株式会社フジキン
特開平4-160319

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