セラミックス部材の洗浄方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：高山宏志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-247761
公開番号（公開出願番号）：特開2003-055070
特許番号：特許第3497846号
出願日： 2001年08月17日
公開日（公表日）： 2003年02月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】セラミックス部材を酸性薬液ならびにアルカリ金属およびアルカリ土類金属を実質的に含まないアルカリ性薬液で洗浄した後、電気炉、ガス炉、またはマイクロ波加熱炉により800°C以上で加熱処理することを特徴とするセラミックス部材の洗浄方法。

IPC (4件)：