太陽電池の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-157920
公開番号（公開出願番号）：特開2000-349077
特許番号：特許第4082824号
出願日： 1999年06月04日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】エッチングによりシリコン基板表面に微細な凹凸構造を形成する粗面化工程を含む、シリコン基板を用いた太陽電池の製造方法であって、上記粗面化工程において、炭酸アルカリを含む水溶液から成り、鉄の含有濃度が5ppm以下であるエッチング液を用いると共に、上記エッチング液を、水酸化アルカリを水に溶解して水酸化アルカリ水溶液とし、さらに気体状態で供給した二酸化炭素を反応させて製造すると共に、上記水酸化アルカリを水に溶解する際の発熱を上記エッチング液の加熱に用いることを特徴とする太陽電池の製造方法。

IPC (3件)：