特許
J-GLOBAL ID：201103041014520688
薄膜形成装置及びシャンティングアーク放電電極装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
安田 敏雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-262393
公開番号（公開出願番号）：特開2001-081555
特許番号：特許第3766571号
出願日： 1999年09月16日
公開日（公表日）： 2001年03月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 処理容器(2)内にシャンティングアーク放電を発生する複数の電極(3a、3b、3c)と、当該複数の電極(3a、3b、3c)にシャンティングアークを起こすためのアーク電流を流す一つのアーク電源(4)を備えた薄膜形成装置において、
前記複数の電極(3a、3b、3c)の各々は、蒸発・イオン化物質からなる導電性電極本体(12)に、シャンティングアーク放電を発生する導電性導入部(16)を少なくとも1つ以上接続して構成され、
前記アーク電源(4)は、前記電極本体(12)と前記導入部(16)とにアーク電流を供給するように、切替器(18)を介して前記複数の電極(3a、3b、3c)に接続され、前記切替器(18)によってアーク電源(4)からのパルスを順次切り替えて、各電極(3a、3b、3c)にパルスを順番に供給していることを特徴とする薄膜形成装置。
IPC (3件)：
C23C 14/48 ( 200 6.01)
, C23C 14/54 ( 200 6.01)
, H05H 1/34 ( 200 6.01)
C23C 14/48 Z
, C23C 14/54 B
, H05H 1/34
