特許

J-GLOBAL ID：201103041988945937

CMP排水の処理装置

発明者： 老沼 正芳 ,  大谷 高広 ,  和田 雄一郎
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-304372
公開番号（公開出願番号）：特開2001-121144
特許番号：特許第3518445号
出願日： 1999年10月26日
公開日（公表日）： 2001年05月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 過酸化水素を含むCMP排水の処理装置において、該CMP排水中の懸濁物質を分離する無機膜分離装置と、該膜分離装置の透過水を粒状活性炭と接触させる活性炭塔とを有することを特徴とするCMP排水の処理装置。

IPC (4件)：

C02F 1/44 ,  B01D 65/02 500 ,  C02F 1/28 ,  C02F 1/58

FI (4件)：

C02F 1/44 E ,  B01D 65/02 500 ,  C02F 1/28 D ,  C02F 1/58 H

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 研磨剤の回収方法及び研磨剤の回収装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-197609   出願人：オルガノ株式会社
• コロイダルシリカ含有廃水からの水回収方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-041170   出願人：日本碍子株式会社, エヌジーケイ・フィルテック株式会社
• 粒状活性炭充填塔による過酸化水素の除去方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-344772   出願人：オルガノ株式会社
• オゾン耐性膜による水処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-132941   出願人：旭化成工業株式会社