特許
J-GLOBAL ID:201103041990299619
接触子機構
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
國分 孝悦
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-063857
公開番号(公開出願番号):特開2000-260516
特許番号:特許第3486569号
出願日: 1999年03月10日
公開日(公表日): 2000年09月22日
請求項(抜粋):
【請求項1】 気密保持可能な容器内にて、容器内に配置される基板上の配線に対して容器外より電気的な接続を行い得るようにした少なくとも1つの接触子を含み、接触子先端を機械的にクリーニングするクリーニング機構および接触子先端を化学的まはた物理的にクリーニングするクリーニング機構の双方またはいずれかと、前記接触子先端に導電性膜をコートする機構とを有し、前記接触子先端をクリーニング後に前記導電性膜をコートし得ることを特徴とする接触子機構。
IPC (2件):
FI (2件):
G01R 1/06 E
, G01R 31/28 K
引用特許:
出願人引用 (3件)
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フラットパネルの検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-245299
出願人:株式会社神戸製鋼所, マルホ発條工業株式会社
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特開平2-138883
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特開平2-044746
審査官引用 (3件)
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フラットパネルの検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-245299
出願人:株式会社神戸製鋼所, マルホ発條工業株式会社
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特開平2-138883
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特開平2-044746
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