特許
J-GLOBAL ID:201103042285932139
CMOSイメージセンサーのフォトダイオード、その製造方法及びイメージセンサーの製造方法
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (8件):
奥山 尚一
, 有原 幸一
, 松島 鉄男
, 河村 英文
, 吉田 尚美
, 中村 綾子
, 深川 英里
, 森本 聡二
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-053234
公開番号(公開出願番号):特開平11-317512
特許番号:特許第4390896号
出願日: 1999年03月01日
公開日(公表日): 1999年11月16日
請求項(抜粋):
【請求項1】 イメージセンサーのフォトダイオードにおいて、
フィールド領域及び活性領域を備えた第1導電型の半導体層と、
上記フィールド領域から光感知領域を隔てて、上記活性領域上に形成されたゲートと、
上記半導体層内に形成され、一端側が上記フィールド領域から離隔して位置し、他端側が上記ゲートに整合して位置する第2導電型の第1ドーピング領域と、
上記第1ドーピング領域と上記半導体層の表面との間に形成され、一端側が上記フィールド領域に整合するとともに、他端側が上記ゲートに整合し、上記第1ドーピング領域より幅が広い第1導電型の第2ドーピング領域とを含み、
上記半導体層と上記第2ドーピング領域とが、上記フィールド領域と上記第1ドーピング領域との間で電気的に接続していることを特徴とするイメージセンサーのフォトダイオード。
IPC (3件):
H01L 27/146 ( 200 6.01)
, H01L 31/10 ( 200 6.01)
, H04N 5/335 ( 200 6.01)
FI (3件):
H01L 27/14 A
, H01L 31/10 A
, H04N 5/335 A
引用特許:
出願人引用 (12件)
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ピン光ダイオード集積能動画素センサー
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-088326
出願人:イーストマンコダックカンパニー
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特開昭63-174358
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特開平1-147861
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特開昭64-014958
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固体撮像装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-057720
出願人:株式会社東芝
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特開平2-054561
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特開平4-038872
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特開昭60-018957
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特開昭59-198756
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特開平2-131681
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特開昭53-086516
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固体撮像装置および固体撮像装置応用システム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-203817
出願人:株式会社東芝
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審査官引用 (18件)
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特開昭59-198756
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固体撮像装置および固体撮像装置応用システム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-203817
出願人:株式会社東芝
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固体撮像装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-248362
出願人:株式会社東芝
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特開平2-131681
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特開昭63-174358
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ピン光ダイオード集積能動画素センサー
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-088326
出願人:イーストマンコダックカンパニー
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特開昭63-174358
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特開平4-038872
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特開昭53-086516
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特開昭63-174358
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特開平1-147861
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特開平4-038872
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特開昭64-014958
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特開昭60-018957
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固体撮像装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-057720
出願人:株式会社東芝
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特開平2-054561
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特開平4-038872
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特開昭60-018957
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