特許
J-GLOBAL ID：201103042610597198
ヘテロダインビート画像同期測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-007502
公開番号（公開出願番号）：特開2002-214128
特許番号：特許第3628615号
出願日： 2001年01月16日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】(a)光強度が制御できる光源と、(b)該光源のドライバーと、(c)前記光源からの光を信号光と参照光に2分するビームスプリッタと、(d)前記参照光の位相を変調する位相変調器と、(e)該位相変調器のドライバーと、(f)前記信号光をサンプルに照射して該サンプルからの信号光と、変調された参照光とを前記ビームスプリッタで合波し、干渉画像を面上に結像する撮像装置と、(g)該撮像装置のコントローラと、(h)画像処理とシステム全体の制御を行うコンピュータとを備え、(i)前記位相変調器のドライバーからの変調信号に同期して、前記光源のドライバーによる照射信号により前記光源は断続的にスイッチングされ、最初の照射信号の最初のパルスの中心は、変調信号より周期/4だけ遅れており、パルス幅はほぼ周期/4であり、第1照射により画像I0 が得られ、第2照射により画像I1 が得られ、第3照射により画像I2 が得られ、前記コンピュータによって、下記の式に従って演算処理することにより、前記撮像装置の画素上でのヘテロダインビート信号に含まれる高次高調波を考慮するとともに、信号光強度IS を位相揺らぎ成分δに依存しないで求め、ランダムな位相揺らぎが存在しても安定にヘテロダインビート画像を測定することを特徴とするヘテロダインビート画像同期測定装置。IS =(1/4Ir ){(S1 /A)2 +(S2 /B)2 }ここで、Ir は参照光強度、S1 はI0 -I1 、S2 はI0 +I2 -2I1 、A,Bは定数である。
IPC (3件)：
G01N 21/17
, G01B 9/02
, G01B 11/24
G01N 21/17 630
, G01B 9/02
, G01B 11/24 D
