特許
J-GLOBAL ID：201103042691063605
ウエハが収納されるカセットとカセットに収納されたウエハを分析する蛍光X線分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉本 修司 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-296121
公開番号（公開出願番号）：特開2001-116707
特許番号：特許第3370030号
出願日： 1999年10月19日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 所定の直径のウエハが収納されるカセットであって、ウエハの出し入れのために前面が開放され、左右の側壁の内側にウエハを1枚ずつ収納する1対の溝が所定の間隔で上下に多数対形成されたカセットに対し、少なくとも左右いずれかの側壁において、前記溝の少なくとも1つおきにウエハの収納を阻止する障害物を設けたカセット。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 23/223
, H01L 21/68 A
, H01L 21/68 T
