特許

J-GLOBAL ID：201103043522045998

銅薄膜製造方法および銅薄膜

発明者： 八塚 剛志 ,  鮎澤 佳孝 ,  木津本 博俊 ,  小木 浩二
出願人/特許権者： 東洋紡績株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-210594
公開番号（公開出願番号）：特開2011-058068
出願日： 2009年09月11日
公開日（公表日）： 2011年03月24日
要約：

【課題】 長期間にわたって低い体積抵抗率を維持することができる銅薄膜およびこれを銅粒子分散体から形成する方法を提供する。【解決手段】 工程(A):銅粒子分散体を含有する塗膜に過熱水蒸気による加熱処理を施す工程、工程(B):工程(A)で得られた銅薄膜層に防錆処理を施す工程、の少なくとも2つの工程を含む、銅薄膜の製造方法およびこの方法で製造された銅薄膜。前記塗膜は銅粒子分散体を絶縁性基板に塗布または印刷されたものであることが好ましい。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

工程(A):銅粒子分散体を含有する塗膜に過熱水蒸気による加熱処理を施す工程、 工程(B):工程(A)で得られた銅薄膜層に防錆処理を施す工程、 の少なくとも2つの工程を含む、銅薄膜の製造方法。

IPC (3件)：

C23C 24/08 ,  H01B 13/00 ,  H01B 5/02

FI (3件)：

C23C24/08 B ,  H01B13/00 503Z ,  H01B5/02 Z

Fターム (25件)：

4K018BA02 ,  4K018BB01 ,  4K018BB03 ,  4K018BB04 ,  4K018BB05 ,  4K018BD04 ,  4K044AA12 ,  4K044AA13 ,  4K044AA16 ,  4K044AB02 ,  4K044BA06 ,  4K044BB03 ,  4K044BB11 ,  4K044BC02 ,  4K044BC14 ,  4K044CA16 ,  4K044CA22 ,  4K044CA24 ,  4K044CA29 ,  4K044CA44 ,  4K044CA53 ,  5G307CA03 ,  5G307CB02 ,  5G307CC04 ,  5G323AA03

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 積層体およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-245226   出願人：旭化成株式会社