研磨材および研磨材を用いた研磨方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：児玉俊英
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-363591
公開番号（公開出願番号）：特開2001-207160
特許番号：特許第3376334号
出願日： 1999年12月22日
公開日（公表日）： 2001年07月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被研磨材に噴射して衝突させ上記被研磨材の表面を研磨する研磨材であって、核体がゼラチンから成り、この核体に含有させた水、この水を含有することにより生じる上記核体の粘着力により上記核体の表面に粘着された複数の砥粒、および上記核体からの水分蒸発を防止する蒸発防止材を備え、上記核体に水分を保持して弾力性を持たせた状態で研磨に使用することを特徴とする研磨材。

IPC (3件)：