特許

J-GLOBAL ID：201103043822323299

帯電液滴エッチングを用いた試料表面汚染物除去方法及び装置

発明者： 平岡 賢三 ,  境 悠治 ,  飯島 善時
出願人/特許権者： 国立大学法人山梨大学 ,  独立行政法人科学技術振興機構 ,  日本電子株式会社
代理人 (2件)： 井島 藤治 ,  鮫島 信重
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-001947
公開番号（公開出願番号）：特開2011-141199
出願日： 2010年01月07日
公開日（公表日）： 2011年07月21日
要約：

【課題】本発明は帯電液滴エッチングを用いた試料表面汚染物除去方法及び装置に関し、帯電液滴エッチング銃装着チャンバ内の吸着水を除去することを目的としている。【解決手段】試料表面に形成された汚染物を除去する装置であって、真空環境下に置かれた試料3に対して、帯電液滴を照射する帯電液滴エッチング銃5と、試料表面に付着した水滴を離脱させるための近赤外ランプ4とを有し、前記帯電液滴エッチング銃5を用いて試料表面に照射させ、その後前記近赤外ランプ4を用いて試料エッチング面に付着した水滴を離脱させるように構成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料表面に形成された汚染物を除去する方法であって、 真空環境下に置かれた試料に対して、帯電液滴エッチング銃を用いて帯電液滴を試料表面に照射させ、 その後、近赤外線ランプを用いて近赤外線を試料表面に照射し、液滴を離脱させる、 ようにしたことを特徴とする帯電液滴エッチングを用いた試料表面汚染物除去方法。

IPC (1件)：

G01N 23/225

FI (1件)：

G01N23/225

Fターム (6件)：

2G001AA05 ,  2G001BA06 ,  2G001CA05 ,  2G001HA13 ,  2G001LA11 ,  2G001NA01