信号観測用電極配置方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平田忠雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-164775
公開番号（公開出願番号）：特開2000-353746
特許番号：特許第3382889号
出願日： 1999年06月11日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】自動レイアウト設計された配置配線情報に対して等電位追跡を配線の層信号、コンタクトホールの層番号等の配線情報に基づいて実施してレイアウトセルの端子と配線、および配線間の電気的な接続を検索し、前記検索結果による配線と回路セル間の接続が記述された回路接続情報内の配線との間の接続関係が一致するように対応付けをし、前記回路接続情報から推測できる配線名を全ての等電位の配線に付加し、前記全ての等電位の配線について最上位層の配線が存在するか否かを検索し、前記最上位層の配線が存在しないとき、前記配置配線情報内の配線を移動することにより、前記配線を前記最上位層に引き出すことが可能であれば、当該配線の移動を実行し、移動した配線名及びその最上位層配線情報を抽出して出力することによって前記最上位層の配線を信号観測用電極として利用することを特徴とする信号観測用電極配置方法。

IPC (4件)：

H01L 21/82 , G01R 1/06 , G06F 17/50 , H01L 21/3205

FI (4件)：

G01R 1/06 B , H01L 21/82 P , G06F 15/60 654 N , H01L 21/88 Z

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭63-129466
半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-039641 出願人：株式会社東芝
特開平2-191359

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審査官引用 (6件)

特開平2-191359
特開昭63-129466
特開昭63-129466

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