特許
J-GLOBAL ID：201103044913317123
微量金属捕集用液体濾過フィルタ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
河備 健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-100637
公開番号（公開出願番号）：特開2011-231163
出願日： 2010年04月26日
公開日（公表日）： 2011年11月17日
要約：
【課題】 半導体用シリコンウエハーの研磨液、アルカリ洗浄液、洗浄用超純水、工業用無機薬品、有機溶媒、工業排液などに含まれる金属化合物、金属イオンを高精度に除去し、かつ自ら不純物の金属溶出を低減した液体濾過用フィルタを提供する。【解決手段】 下記式[1]で示されるエチレン単位とノルボルネン単位を含むエチレン・ノルボルネン共重合体を素材とするメルトブロー不織布基材からなる液体濾過フィルタであって、該エチレン・ノルボルネン共重合体は、ガラス転移温度(Tg)が80〜180°Cであり、メルトボリュームレート(MVR)(試験法ISO 1133準拠、測定条件:260°C、2.16kg)が30cm3/10分以上であり、且つ該メルトブロー不織布基材は、平均繊維径が1〜30μmの繊維で構成されることを特徴とする液体濾過フィルタなど。 【化1】【選択図】なし
請求項（抜粋）：
下記式[1]で示されるエチレン単位とノルボルネン単位を含むエチレン・ノルボルネン共重合体を素材とするメルトブロー不織布基材からなる液体濾過フィルタであって、
該エチレン・ノルボルネン共重合体は、ガラス転移温度(Tg)が80〜180°Cであり、メルトボリュームレート(MVR)(試験法ISO 1133準拠、測定条件:260°C、2.16kg)が30cm3/10分以上であり、且つ、該メルトブロー不織布基材は、平均繊維径が1〜30μmの繊維で構成されることを特徴とする液体濾過フィルタ。
IPC (14件)：
C08F 255/02
, C08F 277/00
, C08F 8/00
, B01D 39/16
, B01D 39/14
, B01J 45/00
, B01J 47/12
, C02F 1/42
, B01J 39/20
, B01J 41/14
, D04H 1/42
, D04H 3/16
, D06M 14/28
, D06M 15/263
C08F255/02
, C08F277/00
, C08F8/00
, B01D39/16 A
, B01D39/14 B
, B01J45/00 S
, B01J45/00 T
, B01J45/00 U
, B01J47/12 G
, C02F1/42 E
, B01J39/20 H
, B01J41/14 D
, D04H1/42 K
, D04H3/16
, D06M14/28
, D06M15/263
4D019AA03
, 4D019BA13
, 4D019BB03
, 4D019BC04
, 4D019BD01
, 4D019DA03
, 4D025AA09
, 4D025AB18
, 4D025AB19
, 4D025AB20
, 4D025AB21
, 4D025AB22
, 4D025AB23
, 4D025AB33
, 4D025BA01
, 4D025BA09
, 4D025BA17
, 4D025BA26
, 4J026AA11
, 4J026AA12
, 4J026BA16
, 4J026BA30
, 4J026BB01
, 4J026BB07
, 4J026DB04
, 4J026DB08
, 4J026DB24
, 4J026DB36
, 4J026DB40
, 4J026EA09
, 4J026FA01
, 4J026GA08
, 4J100BA38H
, 4J100BA46H
, 4J100BA56H
, 4J100HA61
, 4J100HB53
, 4J100HC47
, 4J100HC59
, 4J100HE12
, 4J100HG14
, 4J100JA18
, 4L033AA05
, 4L033AB07
, 4L033AC15
, 4L033CA18
, 4L047AA14
, 4L047AB02
, 4L047AB03
, 4L047AB07
, 4L047AB08
, 4L047AB10
, 4L047CB10
, 4L047CC12
