特許
J-GLOBAL ID：201103045305563134
LSIの配線構造の設計方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 川又 澄雄
, 中村 友之
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-269511
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068554
特許番号：特許第4363716号
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 配線構造に含まれる配線のプロセスによる配線幅のばらつきを推定し、プロセスばらつき量δPとする段階と、
配線容量変動ΔC/Cの許容範囲を設定しξCとする段階と、
フリンジ容量CFと平行平板容量CPからフリンジ容量比F=CF/CPを評価して、以下の式
F ≧ δP/ξC - 1
を満たすように、前記配線構造を決定する段階とを有することを特徴とするLSIの配線構造の設計方法。
IPC (2件)：
H01L 21/82 ( 200 6.01)
, H01L 21/3205 ( 200 6.01)
H01L 21/82 W
, H01L 21/88 B
