複合トーチ型プラズマ発生方法及び装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：斎藤侑 , 伊藤文彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-023625
公開番号（公開出願番号）：特開2002-231498
特許番号：特許第3733461号
出願日： 2001年01月31日
公開日（公表日）： 2002年08月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】プラズマガス供給手段を有する主トーチの中心軸と副トーチの中心軸を交差させ、プラズマアークを前記トーチの外部に引き出す複合トーチ型プラズマ発生装置において; 該主トーチは、陰極と陽極の配置を逆にして構成し、陽極軸とプラズマ中心軸及びプラズマ炎中心軸が同軸となって、副トーチの陰極から主トーチの陽極に至るプラズマを形成し、前記プラズマアークの陽極上に個体、液体、又は、気体の処理対象材料を任意に供給できる手段を設け、前記処理対象材料とプラズマアークの陽極点とが互いに干渉することのない構造とし、前記処理対象材料を前記プラズマアーク中心軸に同軸で送入できることを特徴とする複合トーチ型プラズマ発生装置。

IPC (5件)：

H05H 1/34 ( 200 6.01) , B05B 7/22 ( 200 6.01) , C23C 4/12 ( 200 6.01) , H05H 1/42 ( 200 6.01) , H05H 1/44 ( 200 6.01)

FI (5件)：

H05H 1/34 , B05B 7/22 , C23C 4/12 , H05H 1/42 , H05H 1/44

引用特許：

出願人引用 (5件)

特公昭55-007000
特開昭61-007600
移行型プラズマ発生方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-238066 出願人：秩父小野田株式会社

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審査官引用 (5件)

特公昭55-007000
特開昭61-007600
移行型プラズマ発生方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-238066 出願人：秩父小野田株式会社

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