特許
J-GLOBAL ID：201103045849645231
清浄ガスの置換機能を備えた基板収納ポッド
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
岡部 讓
, 岡部 正夫
, 臼井 伸一
, 越智 隆夫
, 吉澤 弘司
, 齋藤 正巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-041766
公開番号（公開出願番号）：特開2011-181560
出願日： 2010年02月26日
公開日（公表日）： 2011年09月15日
要約：
【課題】 排気側の背圧を低めることで、ポッドの内部の塵を排気側へ集められる。【解決手段】 基板を収納するためポッドであって、基板を収納する中空部と開口とを有する本体容器と、その開口を密閉可能な蓋部材と、その本体容器の中空部の置換ガスを排気する排気ポートと、その排気ポートに連通し、その中空部内に画定される排気空間を有する基板収納ポッドにより解決する。排気空間は、複数の孔を有する多孔仕切部材と本体容器の内面とによって中空部内に画定される。【選択図】 図1A
請求項（抜粋）：
基板を収納するための中空部と開口とを有する本体容器と、
該開口に挿嵌され、該開口を密閉可能な蓋部材と、
該本体容器に配置され、該中空部内部のガスを排気する排気ポートと、
複数の孔を有する多孔仕切部材と該本体容器の内面とによって該中空部内に画定される排気空間であって、該中空部との間で該複数の孔を介して流体的に連通する排気空間とを備える基板収納ポッドであって、
該排気ポートは、該排気空間を介してのみ該中空部と流体的に連通し、該中空部の置換ガスを排気し、
該排気空間は、該排気空間を画定する該本体容器の内面の領域の面積が、該排気空間に連通する箇所の排気ポートの流路断面積よりも大きいことを特徴とする基板収納ポッド。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
5F031CA02
, 5F031DA08
, 5F031EA14
, 5F031EA19
, 5F031EA20
, 5F031FA01
, 5F031FA15
, 5F031NA04
, 5F031NA10
, 5F031NA13
