特許
J-GLOBAL ID：200903023820845035
被処理体の導入ポート機構及び処理システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-259689
公開番号（公開出願番号）：特開2009-088437
出願日： 2007年10月03日
公開日（公表日）： 2009年04月23日
要約：
【課題】収納容器体内の雰囲気を被処理体の位置ずれを生ぜしめることなく迅速に、円滑に不活性ガスの置換を行なう被処理体の導入ポート機構を提供する。【解決手段】収納容器体2内の被処理体Wを開口ゲート52を介して不活性ガス雰囲気の被処理体移載エリア36内へ取り込む被処理体の導入ポート機構において、収納容器体を載置する載置台54と、開口ゲートを開閉可能に閉じる開閉ドア56を有する開閉ドア機構57と、開閉ドアに設けられて開閉蓋を開閉する蓋開閉機構64と、不活性ガスを収納容器体内に向けて噴射するために開口ゲートの周辺部に沿って設けられると共に、多孔質材料により筒体状に成形された多孔質ガス噴射管80を有するガス噴射手段100と、開口ゲートの多孔質ガス噴射管を設けた周辺部以外の他の周辺部に設けられて、多孔質ガス噴射管から噴射された不活性ガスによりパージされた収納容器体内の雰囲気を排出する排気口82を有する排気手段102とを備える。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
複数の被処理体が収容されて密閉された収納容器体を載置し、前記収納容器体の開閉蓋を外して前記収納容器体内の被処理体を開口ゲートを介して不活性ガス雰囲気になされた被処理体移載エリア内へ取り込むための被処理体の導入ポート機構において、
前記収納容器体を載置するための載置台と、
前記開口ゲートを被処理体移載エリア側から開閉可能に閉じる開閉ドアを有する開閉ドア機構と、
前記開閉ドアに設けられて前記収納容器体の開閉蓋を開閉する蓋開閉機構と、
不活性ガスを前記収納容器体内に向けて噴射するために前記開口ゲートの周辺部に沿って設けられると共に、多孔質材料により筒体状に成形された多孔質ガス噴射管を有するガス噴射手段と、
前記開口ゲートの前記多孔質ガス噴射管を設けた周辺部以外の他の周辺部に設けられて、前記多孔質ガス噴射管から噴射された前記不活性ガスによりパージされた前記収納容器体内の雰囲気を排出する排気口を有する排気手段と、
を備えたことを特徴とする被処理体の導入ボート機構。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (9件)：
5F031CA02
, 5F031DA08
, 5F031EA11
, 5F031EA14
, 5F031EA19
, 5F031EA20
, 5F031MA07
, 5F031NA04
, 5F031NA13
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (3件)
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