特許

J-GLOBAL ID：201103046157656612

位置検出装置

発明者： 小泉 豊 ,  海保 文雄 ,  小杉 泰仁 ,  神保 隆一
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-331480
公開番号（公開出願番号）：特開2001-147105
特許番号：特許第3512072号
出願日： 1999年11月22日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】検出対象の移動に伴って移動する一定ピッチの干渉縞を光の干渉を利用して生成する光学回路部と、干渉縞の配列方向に沿ってずらして配置した複数の受光素子により干渉縞を検出し、検出対象の移動量に応じて変調される2種の変調信号を生成する位相検出器とを備えた位置検出装置において、前記2種の変調信号に対して、原振クロックをもとに生成し変調信号よりも角周波数が十分大きい基準信号をそれぞれ乗算する乗算器と、前記2つの乗算信号を加算し、変調信号に比べて角周波数が十分大きい加算信号を得る加算器と、前記加算信号をパルス信号に変換するコンパレータと、変換したパルス信号の分周信号の周期と前記基準信号の周期の差をとり、この差を所定の周期毎に積算して検出対象の位置を算出する位置算出部と、を設けたことを特徴とする位置検出装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G01B 9/02

FI (2件)：

G01B 11/00 G ,  G01B 9/02

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 位置検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-283165   出願人：横河電機株式会社
• 特公昭49-000221
  

審査官引用 (2件)

• 位置検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-283165   出願人：横河電機株式会社
• 特公昭49-000221