特許
J-GLOBAL ID：201103046269542911

基板検査装置

発明者：
藤原 順

藤原 順 について


出願人/特許権者：
国際技術開発株式会社

国際技術開発株式会社 について


代理人 (3件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  福田 浩志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-111298
公開番号（公開出願番号）：特開2001-296254
特許番号：特許第4403229号
出願日： 2000年04月12日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 配線パターンが形成された基板を少なくとも基板の幅方向両端部をそれぞれの細幅ベルトで挟持して搬送する搬送手段と、 前記搬送手段により前記基板が直線的に搬送されるときの軌跡に対して、軸線が前記基板の肉厚方向に平行移動された複数の回転体で構成され、前記回転体により基板を湾曲させ、前記軌跡からの前記基板の肉厚方向の変位量が、搬送路中に設けられた検査領域で最も大きくなるように各回転体が配設され、少なくとも前記検査領域内において、前記基板の幅方向に亘り肉厚方向の変位がないように搬送を案内する搬送案内手段と、 前記検査領域において、前記搬送案内手段で案内された基板の幅方向に沿って、前記基板面を走査することで基板面を検出するラインセンサと、 を有する基板検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/956 ( 200 6.01) ,  B65G 15/16 ( 200 6.01) ,  B65G 21/22 ( 200 6.01) ,  G01N 21/84 ( 200 6.01) ,  H05K 3/00 ( 200 6.01)
FI (5件)：
G01N 21/956 B ,  B65G 15/16 ,  B65G 21/22 D ,  G01N 21/84 C ,  H05K 3/00 V
引用特許：
審査官引用 (3件)

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